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12寸全自动衬底抛光
 
JX300FP是在伟德国际1949官网捷芯先进CMP设备基础上,根据行业前沿技术需求开发的领先型12英寸CMP设备。该设备配备性能优越的抛光单元,集成更先进的组合清洗技术,展现出更卓越的清洁效果。该设备可实现衬底纳米级全局平坦化,满足先进制程技术需求。

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